Procédés de fabrication en salle blanche
Objectifs de la formation
- Découverte des procédés de fabrication salle blanche à travers la réalisation de capacités MOS
Public
Toute personne souhaitant accroitre ses connaissance dans ce domaine
Prérequis
Pas de prérequis
Modalités pédagogiques
Enseignement alternant exposés théoriques, exercices d’application et travaux pratiques
Contenu de la formation
Jour 1 – 8 heures
- Lithographie 1 (masque oxyde)
- Gravure sèche RIE oxyde mesure profilomètre
- Dépôt métal aluminium
- Lithographie 2 – alignement (masque métal)
Jour 2 – 8 heures
- Gravure humide métal aluminium (Mes. Prof.)
- Mesures électriques sous pointes
- Technique de dépôt ALD
- Bonding, découpe wafer, AFM
Jour 3 – 4 heures
- Observation MEB, FIB
- Caractérisation couche ALD (ellipsométrie)
En parallèle des étapes de fabrication en salle blanche, les technologies de microfabrication, l’environnement salle blanche, la purification du silicium et la chimie des résines et des gravures seront présentées.
Évaluation des acquis
Les acquis des apprenants seront évalués au travers d’exercices réalisés tout au long de la formation.
Attestation de formation
Une attestation de formation est transmise aux apprenants à l’issue de la formation professionnelle. Elle certifie le suivi de la formation et l’acquisition des compétences.
Satisfaction des apprenants
Au terme de la formation, les apprenants renseigneront un formulaire de satisfaction.
Financements
Le plan de développement des compétences
Durée
3 jours (20h)
Lieu
ENSICAEN
Prochaine session :
8 juin 2026
Effectif minimum
4 personnes
Tarif
2250 €
net de taxe par personne
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